Online Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) pdf

Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) pdf


Guilei Wang

Taşınabilir Belge Biçimi, Acrobat ürünleri için Adobe tarafından oluşturulmuştur. Bu, popüler bir elektronik popüler formattır çünkü bu format için yazılım desteği birçok cihaz için mevcuttur. Bu nedenle Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) kitabını ücretsiz olarak indirebilir ve çeşitli elektronik ortamlarda kullanabilirsiniz. PDF görüntüleyici örnekleri arasında Adobe Reader, Foxit Reader, Nitro PDF Reader, PDF-XChange Viewer, Xpdf ve diğerleri sayılabilir. Ücretsiz maioria programı. PDF'deki dezavantaj, bu biçimin A4 için tasarlanması ve uzaklaştırdığınızda, akıllı telefonlarda olduğu gibi harflerin okunaksız hale gelmesidir. Primeiro, Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) yazarından Guilei Wang PDF formatında ücretsiz olarak indirmeniz içindir. PDF'yi görüntülemek için, ister resmi ister ücretsiz Adobe Adobe programı olsun, birçok program vardır. Modern baskı teknolojisinin önemli miktarda ekipmanı, PDF için donanım desteği, herhangi bir yazılım kullanarak bu formatta Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) için yararlı olabilir. Bir Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) PDF dosyası oluşturmanın geleneksel yolu, özel programında hazırlanan bir grafik olan bir grafik programı veya metin düzenleyicisi, CAD vb. Olan ve Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) PDF formatına aktarılan sanal bir yazıcıdır. ISO 32000 uyarınca 1 Temmuz 2008 tarihli PDF formatında elektronik ortamda dağıtım, baskı için iletim vb. Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) kitabını PDF biçiminde kullanmak, gerekli yazı tiplerini (linha ve linha metni), vektör resimleri ve bitmap resimlerini, formları ve multimedya eklerini eklemenizi sağlar. Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) adlı PDF kitabı, elektronik yardımcıların belgeleri korumaları ve kimlik doğrulamaları için bir mekanizma içermektedir. Bu nedenle, Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) kitabını Guilei Wang yazarından hızlı bir şekilde indirmek ve yazdırmak istiyorsanız, bir PDF formatına ihtiyacınız vardır. Bu biçimi ayrıca dosyayı hızlı bir şekilde indirmek ve tüm multimedya cihazlarınızda kullanmak için de kullanabilirsiniz. Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses) kitabı için PDF biçimini nasıl uyguladığınız hakkındaki görüşlerinizi bekliyoruz.

Biçimi seçin
kitap .ZIP indir
kitap .RAR indir
kitap .IOS indir
kitap .APK indir
kitap .EXE indir

This thesis presents the SiGe source and drain (S/D) technology in the context of advanced CMOS, and addresses both device processing and epitaxy modelling.  As the CMOS technology roadmap calls for continuously downscaling traditional transistor structures, controlling the parasitic effects of transistors, e.g. short channel effect, parasitic resistances and capacitances is becoming increasingly difficult. The emergence of these problems sparked a technological revolution, where a transition from planar to three-dimensional (3D) transistor design occurred in the 22nm technology node.  The selective epitaxial growth (SEG) method has been used to deposit SiGe as stressor material in S/D regions to induce uniaxial strain in the channel region. The thesis investigates issues of process integration in IC production and concentrates on the key parameters of high-quality SiGe selective epitaxial growth, with a special focus on its pattern dependency behavior and on key integration issues in both 2D and 3D transistor structures, the goal being to improve future applications of SiGe SEG in advanced CMOS.

indir
Türler:

Baskı Detayları

Yazar

Guilei Wang

İsbn 10

9811500487

İsbn 13

978-9811500480

Yayınevi

Springer; 1st ed. 2019 basım

Gönderen Investigation on SiGe Selective Epitaxy for Source and Drain Engineering in 22 nm CMOS Technology Node and Beyond (Springer Theses)

2 Ekim 2020

kf8
fb2

Son kitaplar